ຂະບວນການຖັກແສ່ວ ວິທະຍາສາດທີ່ນິຍົມ: ການຂຸດປຽກແມ່ນຫຍັງ?

ໃນຫຼາຍອຸດສາຫະກໍາຫຼັກເຊັ່ນ: ການຜະລິດຄວາມແມ່ນຍໍາແລະການປຸງແຕ່ງ semiconductor,ເຕັກ​ໂນ​ໂລ​ຊີ etching​ແມ່ນຫນຶ່ງໃນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສໍາຄັນເພື່ອບັນລຸການປະກອບວັດສະດຸທີ່ຫລອມໂລຫະ. ໃນບັນດາພວກມັນ, ການຂັດປຽກ, ເປັນວິທີການ etching ແບບດັ້ງເດີມທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ໄດ້ຄອບຄອງຕໍາແຫນ່ງທີ່ສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາສະເຫມີເນື່ອງຈາກຫຼັກການຕິກິຣິຍາແລະການຄວບຄຸມທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ.YanMing® ຈະໃຫ້ທ່ານມີການຕີຄວາມລາຍລະອຽດຂອງຄໍານິຍາມຫຼັກແລະລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຂອງ etching ຊຸ່ມ.

I. ນິຍາມຫຼັກຂອງການປັກແສ່ວປຽກ

ຮອຍແຕກປຽກ, ຊຶ່ງເອີ້ນກັນວ່າຂະບວນການ etching ປຽກ, ເປັນວິທີການເຕັກໂນໂລຊີທີ່ເອົາວັດສະດຸອອກໂດຍຜ່ານປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ຂະບວນການປະຕິບັດການຫຼັກຂອງມັນແມ່ນດັ່ງນີ້: ແຊ່ສານຍ່ອຍທີ່ຈະຖືກປຸງແຕ່ງ (ເຊັ່ນ: ແຜ່ນ semiconductor, ແຜ່ນໂລຫະ, ແລະອື່ນໆ) ເຂົ້າໄປໃນ etchant ທີ່ມີສານເຄມີເຊັ່ນ: ອາຊິດ, ເປັນດ່າງຫຼື solvents. ໃຊ້ປະຕິກິລິຢາເຄມີລະຫວ່າງ etchant ແລະວັດສະດຸ substrate ເພື່ອປ່ຽນສ່ວນທີ່ຖືກໂຍກຍ້າຍອອກໃນຫນ້າດິນ substrate ເຂົ້າໄປໃນຜະລິດຕະພັນທີ່ລະລາຍ, ເຊິ່ງຫຼັງຈາກນັ້ນໄດ້ຖືກໂຍກຍ້າຍອອກຢ່າງສົມບູນໂດຍຜ່ານຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ, ແລະສຸດທ້າຍການສ້າງຕັ້ງທີ່ຊັດເຈນຂອງ substrate ແມ່ນບັນລຸໄດ້.

II. ລັກສະນະຫຼັກຂອງການຂັດປຽກ

ແຮງຂັບເຄື່ອນຫຼັກຂອງຂະບວນການ etching ປຽກທັງຫມົດແມ່ນມາຈາກຕິກິຣິຍາເຄມີທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນການໂຕ້ຕອບລະຫວ່າງ substrate ແລະ etchant ໄດ້. ຄວາມພຽງພໍແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຕິກິຣິຍາໂດຍກົງກໍານົດຜົນກະທົບ etching. ອັດຕາການ etching (ນັ້ນແມ່ນ, ຄວາມຫນາຂອງວັດສະດຸທີ່ຖອດອອກຕໍ່ຫນ່ວຍເວລາ) ບໍ່ແມ່ນຄ່າຄົງທີ່, ຕົ້ນຕໍແມ່ນກໍານົດໂດຍສອງປັດໃຈສໍາຄັນ: ຫນຶ່ງແມ່ນລັກສະນະ kinetic ຕິກິຣິຍາ, ແລະອີກປະການຫນຶ່ງແມ່ນຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງສານປະຕິກິລິຍາໃນການແກ້ໄຂ etching.

ມັນເປັນມູນຄ່າທີ່ສັງເກດວ່າetching ຊຸ່ມມີ​ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ທີ່​ເຂັ້ມ​ແຂງ​. ໂດຍການປັບຕົວກໍານົດການທີ່ສໍາຄັນທາງວິທະຍາສາດເຊັ່ນ: ອັດຕາສ່ວນອົງປະກອບຂອງ etchant, ລະດັບຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນແລະອຸນຫະພູມຂອງສະພາບແວດລ້ອມຕິກິຣິຍາ, ອັດຕາການ etching ແລະຜົນກະທົບ etching ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສ່ວນບຸກຄົນຂອງການປຸງແຕ່ງ substrate ສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ອັນນີ້ຍັງເປັນໜຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກຂອງການນຳໃຊ້ທີ່ກວ້າງຂວາງໃນສະຖານະການການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຕ່າງໆ.